6. 離子交換（IX）法
離子交換法的原理是將原水*中的無機鹽陰陽離子如鈣離子Ca2+、鎂離子Mg2+、硫酸鹽SO42-、硝酸鹽NO3-等，通過與離子交換樹脂交換，使水中的陰、陽離子與樹脂中的陰陽離子相交換，從而使水得到軟化或純化。
注1：原水是指相對于每一個過濾單元而言，其進水就稱為原水。
離子交換樹脂*分為陰離子樹脂（R-OH）和陽離子樹脂（H-R和Na-R）兩種，其中陽離子樹脂根據其活性基團的不同而分為鈉型樹脂（Na-R）和氫型樹脂（H-R）。鈉型樹脂常用于水質軟化，氫型樹脂常和陰離子樹脂R-OH一起配合使用，以去除水中的無機鹽陰陽離子，使水質純化為超純水。
注2：離子交換樹脂指離子交換樹脂的高分子基團通常以R表示。
純化過程：
如以H-R代表氫型陽樹脂，其純化水質的交換過程如下：
                    2H-R＋Ca2+ = R2Ca ＋ 2H＋
                    2R-OH+ SO42- = R2SO4 + 2OH-    
以上過程中生成的H＋  和OH- 再反應： 
               H＋ + OH- =H2O      
即水質通過離子交換器后，水中的無機鹽陰陽離子被置換成H2O，達到純化的目的。
軟化過程：
如以Na-R代表鈉型樹脂，其交換過程如下：
                    2Na-R＋Ca2+=R2Ca＋2Na＋
                    2Na-R＋Mg2+=R2Mg＋2Na+
即水質通過鈉離子交換器后，水中的Ca2+、Mg2+被置換成Na+，達到軟化的目的。
再生過程：
離子交換樹脂使用一段時間后，樹脂中的離子被交換完全后，達到飽和程度，失去離子交換能力，此時就需要對樹脂進行再生。
軟化樹脂需要用Nacl即食鹽溶液進行再生，再生過程的化學反應與上述軟化過程的離子交換反應正好相反。
純化水用陽樹脂需要用酸進行再生，陰樹脂需要用堿進行再生。再生過程的化學反應與上述純化過程的離子交換反應正好相反。

 
7． 超過濾（UF）法
微孔薄膜是依其過濾孔徑的大小來去除微粒，而超濾(UF)薄膜則像一個分子篩，它以尺寸為基準，讓溶液通過極微細的孔，以達到分離溶液中不同大小分子之目的。
超濾膜是一種強韌、薄、具有選擇性的通透膜，通常認為其過濾孔徑約為0.01μm，可截留某種特定大小以上的分子，包括：膠質、微生物和熱源。較小的分子，例如：水和離子，都可通過濾膜。
超濾法常用于果汁濃縮、中草藥提取、反滲透的預處理、超純水的終端保安過濾等。

 
8．反滲透（RO）法
一種高新膜分離技術。它是以壓力為推動力，利用反滲透膜只能透水而不能透過溶質的選擇性，從含有各種無機物、有機物、微生物的水體中，提取純水的物質分離過程。反滲透膜的孔徑小于10埃（1埃等于10－10米），具有極強的篩分作用，其脫鹽率高達99％，除菌率大于99.5%。可去除水中的無機鹽、糖類、氨基酸、細菌、病毒等雜質。現已廣泛應用于海水的淡化處理、純凈水的生產，超純水的制備、及其它以細菌、熱原、膠體、微粒和有機物為去除目的的先進工藝。
如果以原水水質及產水水質為基準，經過適當設計后，RO是將自來水純化的最經濟的有效方法，同時也是超純水系統最好的前處理方法。

 
9．紫外線(UV)、臭氧滅菌法
紫外燈所放射出來的254nm的紫外線是一種有效的殺菌方法，因為細菌中的DNA及蛋白質會有吸收紫外線導致死亡。
紫外線滅菌法
    臭氧滅菌法：采用臭氧發生器產生臭氧，加入純水中，滅菌效果極好。