超純水機品質的主要體現在超純水水質方面。與超純水相磁的術語主要有：電阻率、電導率、總有機碳量、微粒子、熱源、微生物等。它們也是超純水水質檢測依據。

電阻率（resistivity）是用來表示各種物質電阻特性的物理量，與溫度有關。單位是Ω·m或Ω.cm，超純水中常用ΜΩ.cm。電阻率是超純水中電解質含量的體現之一。通常，電阻率越大，超純水純度越高。

電導率：其物理學概念是在介質中該量與電場強度之積等于傳導電流密度。對于各向同性介質，電導率是標量；對于各向異性介質，電導率是張量。通俗說，電導率是指物質傳導電流的能力。單位是西門子每米（S/m）或μS/cm，超純水技術指標中用μS/cm表示。水的導電性和水的電阻成倒數關系。水的電導率和電阻率主要受水中所含帶電離子影響。

自然水中除了含有帶電離子，還有其它多種雜質。有機物主要用總有機碳量表示。

總有機碳量（TOC）（或總有機碳）是以碳的含量表示有機物總量的一個指標。總有機碳量檢測方法有很多種，艾柯超純水機具有總有機碳量在線檢測功能。