在工業和科學研究領域，掃描電子顯微鏡是最常見的研究材料微觀結構的儀器之一。研究人員使用掃描電鏡對樣品進行微觀形貌觀察和元素成分分析。掃描電鏡按照外形尺寸可以分為兩種，其中一種通常被稱為落地式掃描電鏡（Floor Model SEM），另一種是桌面式掃描電鏡（Desktop SEM）。
 

  

落地式掃描電鏡的發展歷史可以追溯到電子顯微鏡的新興時代。顧名思義，它占據了大量空間—從地面延伸到大約 1.5 米的高度。隨著科技發展以及市場需要，一種體積小巧的小型化掃描電鏡誕生，通常也被稱為桌面式或臺式掃描電鏡（SEM），體積縮小了將近 80%。除了外型尺寸外，落地式掃描電鏡和臺式掃描電鏡之間的區別還體現在探測器、易操作性、安裝環境和價格等方面。

1. 探測器

根據市場需求，多數用戶表示，使用掃描電鏡的主要做形貌的觀測和成分的分析。因此，臺式掃描電鏡主要聚焦兩個核心功能：用于形貌觀測（集成背散射電子探測器（BSD）和二次電子探測器（SED），以及用于成分分析（結合 EDS 能譜探測器），因此臺式掃描電鏡可以得到廣泛應用。

落地式電鏡則可以滿足一些特定研究的需求，比如可以添加不同的探測器：WDS（波譜儀）、CL（陰極熒光）和 XRF（X 射線熒光光譜儀）等。

2. 易操作性

落地式掃描電鏡系統更為復雜，新用戶需要在短期內掌握全新的知識。盡管全面掌握掃描電鏡系統的各個參數設定可能會有好處，但大量的選項也增加了操作的復雜性，這給沒有經驗的用戶帶來了很大的挑戰。除此之外，落地式 SEM 大多需要進行大量培訓，因此通常需要一名專職技術人員來制備樣品、操作并進行維護。

提高 SEM 的可操作性是研發桌面式 SEM 的動機之一。簡單友好的用戶界面使得用戶可以快速完成培訓，從而降低了掃描電鏡的操作技巧要求。桌面式 SEM 操作很簡單，幾乎沒有經驗的用戶也可以通過短時間的學習來獲取高質量的圖像。

3. 安裝環境要求

落地式 SEM 需要占據大量的空間來容納整個電鏡系統，甚至需要專門的安裝房間，并在特定的防磁防震環境中才能正常運行。降低安裝環境要求是研發桌面式 SEM 的另一驅動力，小型化和專利防震的設計提升了系統對振動和電磁場的耐受性。臺式掃描電鏡不需要安裝在防磁防震環境中，甚至可以放置在產線旁、移動車廂內，搬運也非常方便，節省了空間以及場地改造費用，增加了使用場景的靈活性。

落地式 SEM 通常放置在專門的顯微鏡中心，并由專門的人員進行管理和操作。需要使用SEM的研究人員必須將樣品帶到中心，并尋求專家的幫助，以此來獲取他們需要的圖像信息。這意味著急需數據的周轉時間從幾小時到幾周不等。然而，桌面式 SEM 可以直接放置在研究人員的實驗室里，并且也不局限于樓層限制，根據需要可以快速、及時使用。

放置于 7 樓的 Phenom Pharos G2

4. 總費用
 

落地式 SEM 由于設備的大尺寸和復雜性，想要購買落地式 SEM 的人員還必須考慮該儀器額外的花費，包括改造安裝環境（防震防磁設備）費用、操作維護該系統所需的經驗豐富的專家費用。因此在大多數情況下，購買并維護落地式 SEM 的成本很高。

 

購買臺式 SEM 不需要額外的改造安裝環境費用，可以快速學習并上手操作。易操作、成本低，因此對于大多數檢測應用來說，是一個非常具有吸引力的選擇。

總結

這兩種類型的掃描電子顯微鏡都能在工業和科學研究領域中發重要作用，但在選擇儀器時必須仔細權衡兩種類型掃描電鏡的參數以及易操作性、安裝環境要求，時效性和總體費用等。