質量流量控制器、 質量流量計出廠時一般用N2標定, 實際使用中如果是其它氣體, 必要時可進行讀數修正, 方法是以流量顯示儀顯示的流量乘以流量轉換系數。 如是單組份氣體, 其轉換系數可在我廠產品技術說明書中查得;如是多組份氣體(假定由n種氣體組成),請按下列公式計算其轉換系數C


一.轉換系數使用說明

質量流量控制器、 質量流量計出廠時一般用N2標定, 實際使用中如果是其它氣體, 必要時可進行讀數修正, 方法是以流量顯示儀顯示的流量乘以流量轉換系數。 如是單組份氣體, 其轉換系數可在我廠產品技術說明書中查得;如是多組份氣體(假定由n種氣體組成),請按下列公式計算其轉換系數C:

基本公式:C=0.3106N/ρ(Cp)
其中:ρ--為氣體在標準狀態下的密度
CP-一為氣體的定壓比熱
N-為氣體分子構成系數(與該氣體分子構成的組份有關,見表1-1)

氣體分子構成    舉例      N取值
單原子分子      Ar He     1.01
雙原子分子      CO N2     1.00
三原子分子      CO2 No2   0.94
多原子分子     NH3 C4H8   0.88
氣體分子構成系數表1-1

對于混合氣體:
N=N1(w1/wT)+N2(w2/WT)+...+Nn(wn/wT)

導出公式:
C=0.3106[N1(w1/wT)+N2(w2/wT)+...+Nn(wn/wT)]/[ρ1Cp1(w1/wT)+ρ2Cp2(w2/wT)+...+ρnCpn(wn/wT)]

其中
w1..wn--為相應氣體的流量
wT--為混合氣體的流量
ρ1...ρn--為相應氣體在標準狀態下的密度(數值見氣體轉換系數表)
CP1...CPn--為相應氣體的定壓比熱(數值見氣體轉換系數表)
N1-Nn--為相應氣體的分子構成系數,取值見氣體分子構成系數表

二.我有問題問:混合氣體轉換系數案例分析

問:我有一臺MC-1900L流量計,所通氣體為氯化氫,滿量程5sccm.現在改通混合氣體:氯化氫53.5%,乙炔46.5%,
該如何換算?

答:[1]定義:
Wt=5sccm,第一種氣體為氯化氫,第二種氣體為乙炔W1/Wt=53.5% W2/Wt=46.5% N1=1.00 N2=0.88
根據系數表可知:
氯化氫密度為:1.627比熱為:0.191 乙炔密度為:1.162比熱為:0.405
[2]那么可以計算出:
N=1.00x53.5%+0.88x46.5%=0.9442 ρ1Cp1(w1/wT)+ρ2Cp2(w2/wT)=1.627x0.191x53.5%+1.162x0.405x46.5%=0.386
[3]綜上計算出:
C=0.3106N/ρ(Cp)=0.76 故混合氣體的系數為0.76