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氮化硅膜定制服務(wù)

氮化硅膜定制服務(wù)


Silicon Nitride Membrane Custom Service
原位芯片是一家專業(yè)制造氮化硅薄膜窗口的高科技芯片公司,憑借十多年的MEMS工藝經(jīng)驗,原位芯片可以為您設(shè)計定制適用于各種電鏡的氮化硅膜窗格,以滿足各類實驗需求。
服務(wù)類別:芯片與生物信息學總訪問:514
最后更新:2019-4-19半年訪問:37
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  • 服務(wù)介紹
  • 公司簡介
原位芯片是一家專業(yè)制造氮化硅薄膜窗口的高科技芯片公司,憑借十多年的MEMS工藝經(jīng)驗,原位芯片可以為您設(shè)計定制適用于各種電鏡的氮化硅膜窗格,以滿足各類實驗需求。 原位芯片定制產(chǎn)品均在百級潔凈環(huán)境中制備,定制參數(shù)范圍廣,采用高效的定制流程為廣大高效,科研人員提供專業(yè)的定制服務(wù)。

 
定制參數(shù) 項目特性
硅基底厚度 100—1000μm
外框尺寸 1μm
氮化硅薄膜厚度 15—2000nm
氮化硅薄膜應(yīng)力 50—1000Mpa
薄膜窗口尺寸 3μm—15mm
表面薄膜金屬(Au/Pt/Cu/Ti/Cr等數(shù)十種) 5—2000nm
表面氧化物、化合物(SiO2/Al2O3等數(shù)十種) 5—2000nm
金屬、化合物的圖形化最小線條寬度 50nm
硅凹槽通道刻蝕 50nm—1000μm
氮化硅薄膜刻蝕盲孔通孔 5nm
其他數(shù)十種微納米MEMS工藝
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